規(guī)格型號

FT-3110B（可擴展）

1.方塊電阻

10^-6～2×10^5Ω/□

2.電阻率

10-7～2×106Ω-cm

3.測試電流

1A、100mA、10mA、1mA、100uA、10uA、1uA、0.1uA

4.電阻精度

≤0.3%（標準電阻）

5.PC軟件操作

PC軟件界面：電阻、電阻率、電導(dǎo)率、方阻、溫度、單位換算、電流、電壓、探針形狀、探針間距、厚度 、2D、3D圖譜、報表生成等

6.壓力范圍

探針壓力可調(diào)范圍：100-500g

7.探針

鎢鋼材質(zhì)，探針間距1mm；機械游移率：≤0.3%；其他規(guī)格可定制

8.載臺類型及尺寸選購

選購1:圓形載臺晶圓尺寸：2-12寸（6寸150mm，12寸300mm）

選購2：方片載臺尺寸：153mm*153mm范圍內(nèi)定制規(guī)格

9.分析模式

單點、五點、九點、多點、直徑掃描、面掃描等模式的自動測試

10.重復(fù)性

單點重復(fù)性：重復(fù)性≤0.5% 

11.防護功能

具有限位量程和壓力保護;誤操作和急停防護;異常警報

12.電源

輸入: AC 220V±10%.50Hz， 功 耗：<600W