ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 LS1200A
ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 LS1200A
螺桿式真空泵是一種真空泵,其中泵殼中的螺桿轉(zhuǎn)子將流體引導到網(wǎng)狀間隙中并旋轉(zhuǎn)它以沿軸向連續(xù)移動流體。
“Model:LS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 過去,提高抽速需要消耗大量功率,但通過將專有的螺桿形狀與節(jié)能技術(shù)相結(jié)合,這款干式真空泵實現(xiàn)了高速排氣和低功耗。 有四種型號的陣容,您可以根據(jù)設(shè)備的大小、使用條件和用途選擇具有*泵送能力的泵。
長處
在接近大氣壓時的抽速可達 80 m3 /h,與傳統(tǒng)真空泵相比,抽氣時間可縮短約 20%。
標配的消音器也解決了干式真空泵固有的噪音問題。 極限壓力下的噪音值小于 61 dB(A),即使在運行過程中也不明顯。 (*1)
C 規(guī)格中標配的 ECO-SHOCK 技術(shù)是 ULVAC 專有的節(jié)能技術(shù)。 極限壓力下的功耗可降至 0.6 kW 或更低。 (*2)
“Model:LS” 不需要軸封氣體。 在主要排放氮氣和空氣的清潔工藝中,可以降低運行成本。 (*3)
對于想要進一步提高抽速的用戶,我們建議使用機械增壓泵。 120~ 通過組合1200 米3/h 是可訪問的。
用
C 規(guī)格:清潔工藝 (LS***A-C) 特點
:內(nèi)置 ECO-SHOCK 的低功耗型
應用:用于清潔排氣和N2 排氣、濺射、氣相沉積、粘合、負載鎖定室、TMP 輔助等。
L 規(guī)格: 輕工藝 (LS***A-L) 特點
: 具有表面處理和吹掃功能的
輕工藝類型 應用: 用于水蒸氣和揮發(fā)性化學廢氣等輕工藝、真空干燥、冷凍干燥、灰化、一般工業(yè)應用等。
型 |
(C:C 規(guī)格)( |
LS120A型 | LS300A型 | LS600A型 | LS1200A | |||||
C | L | C | L | C | L | C | L | |||
*抽速 | m3/小時 | 120 | 380 | 600 | 1000 | |||||
極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |||||||
電源壓力 | 200V 級:三相,50/60Hz,AC200-240V 或 400V 級:三相,50/60Hz,AC380-480V | |||||||||
功耗 *1 | 千瓦 | 0.6 | 2.0 | 1.0 | 2.5 | 1.3 | 2.6 | 1.3 | 2.7 | |
冷卻水量 | 升/分鐘 | > 2.0 | > 4.0 | |||||||
駁船氣體量 *2 | SLM 系列 | ー | 0~50 | ー | 0~50 | ー | 0~50 | ー | 0~50 | |
用于*的蒸汽處理 *3 | 公斤/小時 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | ー | 1.5 | |
Noise 值 | 分貝(A) | 61 | 61 | 62 | 64 | |||||
進氣口 | KF (水平) / VG50 (垂直) | ISO-F-50 材質(zhì) | ISO-F-80 | ISO-F-100 | ||||||
排氣口 | 肯氟烴40 | |||||||||
質(zhì)量 | 公斤 | 6 | ||||||||
法規(guī)遵從性 | CE、cTUVus | |||||||||
標準配件 | 說明書 (CD-R)、電源連接器、防水電纜夾、信號連接器、電源連接器保護罩 | |||||||||
主機選項 | 電壓規(guī)格:200V 級或 400V 級,密封材料:全氟彈性體(僅限 L 型) | |||||||||
外部選項 | MBP 入口轉(zhuǎn)換法蘭、外殼排氣口、抗震裝置、LR 兼容單元(進氣口、信號)、吹掃氣體閥 |
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ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 LS1200A
螺桿式真空泵是一種真空泵,其中泵殼中的螺桿轉(zhuǎn)子將流體引導到網(wǎng)狀間隙中并旋轉(zhuǎn)它以沿軸向連續(xù)移動流體。