價格
電議
型號
MS120A
品牌
ULVAC愛發(fā)科
所在地
四川省 成都市
更新時間
2025-08-07 14:43:36
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ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS120A
ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS120A
螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉(zhuǎn)子將流體引導(dǎo)到網(wǎng)狀間隙中并旋轉(zhuǎn)它以沿軸向連續(xù)移動流體。
“Model：MS” 是被歸類為螺桿式干式真空泵的真空泵。 這是一種基于傳統(tǒng)“Model：LS”的耐過程性干式真空泵，具有更高的耐腐蝕性和粉末排出性。 它設(shè)計用于具有腐蝕性氣體和粉末排放的真空過程。
長處
通過對轉(zhuǎn)子軸和氣缸等主要部件進行特殊表面處理，實現(xiàn)了高耐腐蝕性。
螺旋式轉(zhuǎn)子軸具有 ULVAC 獨有的設(shè)計，可實現(xiàn)高粉末排放。
可在從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內(nèi)連續(xù)運行。
用
電子元件和半導(dǎo)體制造設(shè)備、
蝕刻設(shè)備、灰化設(shè)備、等離子清洗設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)
真空熱處理爐、
燒結(jié)爐、滲碳爐等的真空排氣系統(tǒng)
鋰電池制造設(shè)備、
電極干燥設(shè)備、消泡設(shè)備、注液設(shè)備等的真空排氣系統(tǒng)。
醫(yī)療和食品相關(guān)設(shè)備的真空排氣系統(tǒng)、
冷凍干燥設(shè)備、真空干燥設(shè)備等。
| 型 | MS120A 系列 | MS600A 系列 | MS1200A | |
| *抽速 *1 | m3/小時 | 115 | 560 | 980 |
| 極限壓力 | 帕 | ≦0.6 | ≦0.1 | |
| 電源電壓 | 三相，50/60Hz，AC200-240V±10% 或 三相，50/60Hz，AC380-480V±10% | |||
| 近似功耗 *2 | 千瓦 | 2.4 | 3.1 | 3.1 |
| 冷卻水量 | 升/分鐘 | >4.0 | ||
| 吹掃氣體量 *1 | SLM 系列 | 0~50 | ||
|
*水蒸氣吞吐量 *1*3 |
公斤/小時 | 1.5 | ||
| 噪音水平 *2 | 分貝（A） | 61 | 62 | 64 |
| 進氣口 | KF50 （水平） / VG50 （垂直） | ISO-F-80 | ISO-F-100 | |
| 排氣口 | 肯氟烴40 | |||
| 重量*4 | 公斤 | 139 | 241 | 264 |
| 法規(guī)遵從性 | CE、cTUVus | |||
| 標(biāo)準(zhǔn)配件 | 快速手冊、電源連接器、防水電纜夾、信號連接器、電源連接器防護罩、消音器 1 套 | |||
| 主機選項 |
電源電壓：200 V 級或 400 V 級 密封材料：氟橡膠 （FKM） 或全氟彈性體 （FFKM） |
|||
| 外部選項 | 外殼排氣口、抗震裝置、LR 兼容單元（進氣口、信號）、吹掃氣體閥 | |||
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ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵 MS120A
螺桿式真空泵是一種真空泵，其中泵殼中的螺桿轉(zhuǎn)子將流體引導(dǎo)到網(wǎng)狀間隙中并旋轉(zhuǎn)它以沿軸向連續(xù)移動流體。