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XTRAIA XD-3200日本理學(xué)RIGAKUT在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具
XTRAIA XD-3200
在線 HRXRD/XRR 測(cè)量工具
用于毛毯和圖案化晶圓的高分辨率 XRD 外延膜表征
XTRAIA XD-3200 是一款多用途 X 射線計(jì)量工具,可在大批量生產(chǎn)中對(duì)橡皮布和圖案化 300 mm 和 200 mm 晶圓上的單層和多層薄膜進(jìn)行無損分析,吞吐量高。
測(cè)量結(jié)果包括 X 射線反射 (XRR) 的薄膜厚度、密度和粗糙度,以及高分辨率 XRD (HRXRD) 的外延膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格松弛和結(jié)晶度。

結(jié)
長處
規(guī)范
事件
XTRAIA XD-3200 規(guī)格
技術(shù) 高分辨率 X 射線衍射 (HRXRD)、X 射線反射 (XRR) 用 多層材料和外延膜
的無損晶圓分析評(píng)估薄膜厚度、成分、應(yīng)變、晶格弛豫和結(jié)晶度X 射線源 使用 9 kW 旋轉(zhuǎn)銅反陰極面或 2.2 kW 銅封裝管
鏡或 2/4 晶體進(jìn)行線聚焦科技 覆蓋外延薄膜(例如 Si/SiGe 多層) 主要組件 毛毯晶片測(cè)量
X 射線探測(cè)器:2D (HyPix-3000)
X 射線源:9 kWCu 旋轉(zhuǎn)與陰極
X 射線光學(xué)元件:多達(dá) 2 個(gè)光柵 Ge(400)×2、Ge(220)×2、Ge(220)×4
高精度測(cè)角儀特征 高強(qiáng)度旋轉(zhuǎn)反陰極
chi-axis本體尺寸 1656(寬) x 3689(深) x 2289(高) 毫米 測(cè)量結(jié)果 HRXRD 和 XRR
XRR、XRD、鎖定曲線和倒數(shù)網(wǎng)格圖 (RSM)
北崎9年,日本會(huì)社20年
優(yōu)勢(shì):
1、以下三大類前6項(xiàng)均為日本原廠授權(quán)代理銷售;其它為廠家項(xiàng)目授權(quán)代理銷售;
2、未歸類的為我司日本本社向日本原廠直接采購,可提供關(guān)單和產(chǎn)地證明。
光源類:
1、EYE巖崎——UV燈、照度計(jì) (備庫銷售)
2、SEN日森——UV固化裝置、高壓水銀燈、紫外光清洗設(shè)備 (備庫銷售)
3、CCS晰寫速——環(huán)形光源、面光源、光源箱 (部份光源可提供試樣)
4、REVOX萊寶克斯——光源箱
5、SERIC索萊克——人工太陽照明燈
6、POLARION普拉瑞——強(qiáng)光燈
7、FUNATECH船越龍——目視檢查燈 (備庫銷售)
8、USHIO牛尾——UV汞燈、小燈泡
9、ATIEC艾泰克——光源、條光、同軸光、強(qiáng)光燈
10、YAMADA依夢(mèng)達(dá)——光源 (備庫銷售)
儀器儀表類:
1、SANKO山高——膜厚儀、金屬探測(cè)儀
2、TOKI東機(jī)產(chǎn)業(yè)——粘度計(jì)
3、SONIC索尼克——超聲波風(fēng)速儀、氣體及液體流量計(jì) (備庫銷售)
4、SAKAGUCHI坂口電熱——熱電偶、耐熱線、熱電對(duì)
5、DIT東日技研——靜電消除器、離子風(fēng)棒
6、SUGIYAMA杉山電機(jī)——下死點(diǎn)檢測(cè)儀、誤送檢測(cè)裝置 (備庫銷售)
7、IIJIMA飯島電子——酸素計(jì)、氧氣分析儀、濃度計(jì)
8、TORAY東麗——?dú)怏w分析儀
9、HIOKI日置——功率分析儀、記錄儀、電流傳感器
10、TOPCON拓普康——色彩亮度計(jì)、輝度計(jì)、照度計(jì) (備庫銷售)
11、KYOWA共和——應(yīng)變儀、應(yīng)變片、傳感器 (部份備庫銷售)
12、USHIO牛尾——照度計(jì) (備庫銷售)
13、ORC歐阿?!斩扔?jì) (備庫銷售)
14、AND愛安德——水分計(jì)、天平、粘度計(jì) (備庫銷售)
15、YASKAWA安川——磁性開關(guān) (備庫銷售)
16、RKC——熱電偶、溫控器 (備庫銷售)
17、EXCEL——聽音機(jī) (備庫銷售)
小設(shè)備類:
1、SIBATA柴田——環(huán)境凈化設(shè)備、大流量采樣器、微型泵 (部份備庫銷售)
2、YAMATO雅馬拓——恒溫箱、干燥箱、氣氛爐
3、NEWKON新光——打孔機(jī)、鋼印機(jī)
4、MUSASHI武藏——點(diǎn)膠機(jī)
5、KAIJO凱捷——清洗機(jī)
6、TSUBOSAKA壺坂——對(duì)比度儀
7、EYELA東京理化---旋轉(zhuǎn)蒸發(fā)儀
8、NIDEC尼得科——減速機(jī)
9、AKiribis雅科貝斯——加工平臺(tái)、高速直驅(qū)電機(jī)
10、OTSUKAEL大塚——光學(xué)膜厚儀、粒度儀
專注領(lǐng)域如下:
儀器相關(guān):
山高SANKO(代理)、東機(jī)產(chǎn)業(yè)TOKI(代理)、索尼克SONIC(代理)、東日技研DIT(代理)、杉山電機(jī)SUGIYAMA(代理)、愛安德AND(廠家合作)、飯島電子IIJIMA、東麗TORAY、共和KYOWA、愛安德AND、豪雅HOYA(代理)
備件設(shè)備相關(guān):
柴田SIBATA(代理)、 壺坂TSUBOSAKA(代理)、雅馬拓YAMATO、新光NEWKON(代理)、武藏MUSASHI(代理)、尼得科NIDEC(代理)、MRM(代理)、坂口電熱SAKAGUCHI(代理)、岡崎OKAZAKI、椿本TUSBAKI(廠家合作)、山本鍍金YAMAMOTO、馳卡沙TSUKASA、朝日分光ASAHI、東機(jī)理化EYELA、科庫森KOKUSAN
光源相關(guān):
巖崎EYE(代理)、日森SEN(代理)、晰寫速CCS(代理)、萊寶克斯REVOX(代理)、索萊克SERIC(代理)、普拉瑞POLARION、船越龍F(tuán)UNATECH、牛尾USHIO、艾泰克ATIEC、山田YAMADA、拓普康TOPCON、歐阿希ORC、賽納SENA、英富麗INFLIDGE
電氣控制:
SIEMENS西門子(廠家合作)、MITSUBISHI三菱,OMRON歐姆龍(廠家合作)、基恩士KEYENCE(廠家合作)