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淄博市電子廠無(wú)塵車(chē)間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)-天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司
淄博市電子廠無(wú)塵車(chē)間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)技術(shù)--天津中達(dá)檢測(cè)濟(jì)南分公司 10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的送風(fēng)方式: 1.局部孔板頂棚送風(fēng); 2.帶擴(kuò)散板高效空氣過(guò)濾器頂棚送風(fēng); 3.上側(cè)墻送風(fēng)等三種送風(fēng)方式。10萬(wàn)級(jí)無(wú)塵室主要采用的回風(fēng)方式: 1.單側(cè)墻下部布置回風(fēng)口; 2.當(dāng)采用過(guò)道回風(fēng)時(shí),在過(guò)道內(nèi)均勻布置回風(fēng)口或在過(guò)道端部集中設(shè)置回風(fēng)口。
電子潔凈廠房是屬于企業(yè)里資金投入特別大的部分,潔凈廠房?jī)艋療o(wú)塵車(chē)間建設(shè)完成后,能否達(dá)到設(shè)計(jì)目的(滿(mǎn)足產(chǎn)品工藝生產(chǎn)要求,符合GMP的要求),需要通過(guò)實(shí)踐檢則來(lái)確認(rèn)故數(shù)據(jù)。
電子廠無(wú)塵車(chē)間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外,這類(lèi)潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中,對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。因?yàn)樵谶^(guò)于干燥的廠房?jī)?nèi)容易產(chǎn)生靜電,會(huì)損壞CMOS集成度。
若潔凈室(區(qū))運(yùn)行中已對(duì)粒子濃度、風(fēng)速、靜壓差進(jìn)行連續(xù)監(jiān)測(cè),且其測(cè)試值均符合本規(guī)范要求時(shí),的測(cè)試時(shí)間間隔可延長(zhǎng)。具體間隔時(shí)間,可與單位洽商已安裝過(guò)濾器泄露、氣流流型目測(cè)、照度,所有潔凈度等級(jí),建議*長(zhǎng)時(shí)間間隔24月、溫度、相對(duì)濕度,所有潔凈度等級(jí),建議*長(zhǎng)時(shí)間間隔12月、自?xún)魰r(shí)間、密閉性,建議*長(zhǎng)時(shí)間間隔>24月、噪聲,建議*長(zhǎng)時(shí)間間隔>12月
對(duì)于無(wú)塵室內(nèi)的換氣次數(shù)一般要求為:人均每小時(shí)換氣5次以上;人均每小時(shí)新風(fēng)量30立方米以上;每人每小時(shí)換風(fēng)量10立方米以上;每平方米允許噪聲強(qiáng)度85分貝以下(a計(jì)權(quán));溫濕度波動(dòng)小;光照度適宜等等。氣流→初效凈化→空調(diào)→中效凈化→風(fēng)機(jī)送風(fēng)→管道→凈化風(fēng)口→吹入房間→帶走塵埃細(xì)菌。等顆粒 → 回風(fēng)百葉窗→初效凈化 重復(fù)以上過(guò)程,即可達(dá)到凈化目的。換氣次數(shù):100000級(jí)≥15次;10000級(jí)≥20次;1000≥30次。壓差:主車(chē)間對(duì)相鄰房間≥5Pa平均風(fēng)速:10級(jí)、100級(jí)0.3-0.5m/s;溫度 冬季>16℃;夏季 <26℃;波動(dòng)±2℃。溫度45-65%;GMP粉劑車(chē)間濕度在50%左右為宜;電子車(chē)間濕度略高以免產(chǎn)生靜電。噪聲≤65dB(A);新風(fēng)補(bǔ)充量是送風(fēng)量的10%-30%;照度300LX。 目前對(duì)于大規(guī)模集成電路生產(chǎn)車(chē)間空調(diào)系統(tǒng)具有以下特點(diǎn):1、大規(guī)模集成電路工藝布置多采用開(kāi)放環(huán)境結(jié)合微環(huán)境的方法,在保證產(chǎn)品質(zhì)量的同時(shí),還可達(dá)到減少建設(shè)投資、降低運(yùn)行費(fèi)用的目的。2、對(duì)于空氣潔凈度等級(jí)為1-5級(jí)時(shí),基本上采用單向流或混合流;空氣潔凈度等級(jí)為6-9級(jí)時(shí),基本上采用非單向流。3、為有效降低能耗、降低空氣處理時(shí)冷熱抵消現(xiàn)象,對(duì)于新風(fēng)系統(tǒng)常采用集中處理形式。
電子廠無(wú)塵車(chē)間潔凈等級(jí)標(biāo)準(zhǔn) 檢測(cè)指標(biāo):溫度、相對(duì)濕度、照度、照度、噪聲、靜壓差、懸浮粒子數(shù)、換氣次數(shù)、過(guò)濾器撿漏、沉降菌
電子制造業(yè)廠潔凈室檢測(cè)要求潔凈度等級(jí)、風(fēng)量、溫度、濕度、壓差、設(shè)備排風(fēng)等按需要進(jìn)行控制。潔凈室的照度和截面風(fēng)速按設(shè)計(jì)或規(guī)范控制。另外,這類(lèi)潔凈室對(duì)靜電的要求非常高。嚴(yán)格的。其中,對(duì)濕度的要求更為嚴(yán)格。
天津中達(dá)檢測(cè)有限公司濟(jì)南分公司是一家的第三方潔凈室(潔凈度)檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu),(snjjhjjc)獲得了山東省質(zhì)量技術(shù)局頒發(fā)的檢驗(yàn)檢測(cè)機(jī)構(gòu)證書(shū)(CMA)為客戶(hù)提供的潔凈室、潔凈廠房、潔凈區(qū)、潔凈車(chē)間等驗(yàn)收檢驗(yàn)檢測(cè)技術(shù)服務(wù),出具第三方潔凈工程(項(xiàng)目)竣工驗(yàn)收檢測(cè)資質(zhì)、日常潔凈監(jiān)測(cè)。