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ULVAC愛(ài)發(fā)科 低溫泵 CRYO-U22WB
ULVAC愛(ài)發(fā)科 低溫泵 CRYO-U22WB
ULVAC愛(ài)發(fā)科 低溫泵 CRYO-U22WB
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實(shí)現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點(diǎn)是可以提供無(wú)油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個(gè)行業(yè)和研究部門(mén)。
在考慮安裝低溫泵時(shí),其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢(shì)。
渦輪分子泵
UTM300A-MS UTM400A-MS UTM800A-MS UTM1000A-MS
UTM1300A-MS UTM1500A-MS UTM2400A-MS UTM3400A-MS UTM4300A-MS
陶瓷球軸承型渦輪分子泵YTP-B系列
YTP-50MB
YTP-50SAB
YTP-50MB-DRY
YTP-50SAB-DRY
YTP-300MB
YTP-300SAB
YTP-300MB-DRY
YTP-300SAB-DRY
渦輪分子泵排氣機(jī)組
YTP70A
YTP70A-D
YTP70A-D-AC
YTP70A-D-AK
YTP70A-D-AV
規(guī)范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 13,000 |
氫 | 16,500 | ||
氬 | 11,000 | ||
水 | 39,000 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 3.5×10%3(26) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 8.1×10 元8(6.1×106) |
氫 | 8.5×10 元6(6.4×10 元4) | ||
冷卻下降時(shí)間 (電源循環(huán)) |
*?。℉z) | 165/150(50/60) | |
進(jìn)氣法蘭 | UVG-550型 | ||
壓縮機(jī)組 | ×1 | ||
質(zhì)量 | 公斤 | 125.0 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務(wù)涵蓋:
真空設(shè)備:干式真空泵、分子泵、真空測(cè)量?jī)x器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導(dǎo)體、光學(xué)薄膜、太陽(yáng)能電池等。
半導(dǎo)體制造設(shè)備:濺射設(shè)備、蝕刻設(shè)備、封裝設(shè)備等。
分析測(cè)試儀器:X射線(xiàn)光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍?cè)O(shè)備、鋰電薄膜設(shè)備等。