EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20P

EBARA荏原 干式真空泵 EV-S20P

干式真空泵是一種在抽氣過程中不使用任何油或其他液體作為工作介質(zhì)的真空泵。與傳統(tǒng)的油封式真空泵相比，干式真空泵在操作過程中不會產(chǎn)生油蒸氣或油霧，從而避免了油污染問題。干式真空泵通過機(jī)械方式直接抽除氣體，通常采用多級壓縮或特殊設(shè)計的轉(zhuǎn)子來實現(xiàn)高真空度。由于其無油、無污染的特性，干式真空泵在半導(dǎo)體制造、醫(yī)藥生產(chǎn)、食品加工等對潔凈度要求極高的行業(yè)中得到了廣泛應(yīng)用。

干式真空泵的工作原理主要依賴于機(jī)械運(yùn)動部件，如轉(zhuǎn)子、葉片或螺桿，來壓縮和排出氣體。這些運(yùn)動部件在泵腔內(nèi)高速旋轉(zhuǎn)，形成多個密閉的工作腔室。隨著轉(zhuǎn)子的轉(zhuǎn)動，氣體被吸入工作腔室，隨后被壓縮并排出泵外。由于整個過程無需任何液體介質(zhì)，干式真空泵能夠提供潔凈的真空環(huán)境，避免了油污染和介質(zhì)殘留問題。

應(yīng)用領(lǐng)域

半導(dǎo)體制造：在半導(dǎo)體生產(chǎn)過程中，干式真空泵用于晶圓加工、薄膜沉積、蝕刻等工藝，確保高潔凈度的真空環(huán)境。

制藥行業(yè)：用于藥品干燥、蒸餾和包裝等環(huán)節(jié)，避免油污染對藥品質(zhì)量的影響。

化工行業(yè)：適用于腐蝕性氣體或易凝結(jié)氣體的抽除，滿足化工生產(chǎn)中的特殊需求。

食品加工：在食品包裝和脫氣過程中，干式真空泵確保食品的安全和衛(wèi)生。

科研領(lǐng)域：用于實驗室的高真空實驗，提供無污染的真空環(huán)境。

EBARA（荏原制作所）是日本*的工業(yè)設(shè)備制造商，成立于1912年，部位于東京。憑借百年技術(shù)積淀，荏原以“為地球環(huán)境和社會基礎(chǔ)設(shè)施提供創(chuàng)新解決方案”為使命，業(yè)務(wù)涵蓋水泵、風(fēng)機(jī)、壓縮機(jī)、環(huán)保設(shè)備及能源系統(tǒng)等領(lǐng)域，產(chǎn)品以高可靠性、節(jié)能性和*技術(shù)聞名全球。
核心業(yè)務(wù)與技術(shù)優(yōu)勢
荏原的核心產(chǎn)品包括：
流體機(jī)械：全球*的水泵及系統(tǒng)解決方案，廣泛應(yīng)用于市政供水、工業(yè)循環(huán)、污水處理等領(lǐng)域，其高效節(jié)能設(shè)計顯著降低碳排放。
環(huán)境工程：提供污泥處理、廢氣凈化等環(huán)保技術(shù)，助力可持續(xù)發(fā)展。
能源設(shè)備：蒸汽輪機(jī)、燃?xì)鈮嚎s機(jī)等產(chǎn)品服務(wù)于石油、化工及新能源產(chǎn)業(yè)。
半導(dǎo)體制造設(shè)備：高純度真空泵等產(chǎn)品支撐電子行業(yè)精密制造。