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ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U10H
2025/07/04 13:45:38
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U10H
ULVAC愛發(fā)科 低溫泵 CRYO-U10H
低溫泵是一種伸縮式真空泵,旨在實現(xiàn)從高真空到高真空的條件。 該泵將氣體冷凝并吸附安裝在內(nèi)部的低溫表面上,并有效地捕獲它們。 低溫泵的主要特點是可以提供無油污染的清潔真空。
此外,值得注意的是,低溫泵盡管使用吸附方式,但與其他真空泵相比,其抽速非常高。 因此,低溫泵被廣泛用于需要清潔高效真空環(huán)境的各個行業(yè)和研究部門。
在考慮安裝低溫泵時,其高性能和提供清潔真空環(huán)境的能力是一大優(yōu)勢。
長處
通過多次作(2 臺)可以降低運行成本。
適用于實驗室設備和中型生產(chǎn)設備。
隔膜式干式真空泵
DTC-120F
DTC-120G
擺動活塞式干式真空泵
DOP-40D
DOP-80S
DOP-80SP
DOP-120SY
DOP-120SX
DOP-181SA
DOP-181SC
DOP-181SD
DOP-181SE
DOP-301SB
DOP-400SB
DOP-420SA
規(guī)范
抽速 (20°C) | 氮 | L/s | 2,400 |
氫 | 3,600 | ||
氬 | 2,000 | ||
水 | 6,900 | ||
極限壓力 | 帕(托) | 10-7(10-9) | |
*流量 | 氬 | Pa?L/s(Torr?L/s) | 8.0×10 元2(6.0) |
排氣量 | 氬 | Pa?L (Torr?L) | 1.0×108(7.8×10)5) |
氫 | 6,7×105(5.0×103) | ||
冷卻下降時間 (電源循環(huán)) |
*?。℉z) | 110/100(50/60) | |
進氣法蘭 | UVG-250型 | ||
壓縮機組 |
|
||
質(zhì)量 | 公斤 | 29.0 |
2. 核心技術(shù)及產(chǎn)品
ULVAC的核心業(yè)務涵蓋:
真空設備:干式真空泵、分子泵、真空測量儀器等。
鍍膜技術(shù)(PVD/CVD):用于半導體、光學薄膜、太陽能電池等。
半導體制造設備:濺射設備、蝕刻設備、封裝設備等。
分析測試儀器:X射線光電子能譜儀(XPS)、電子顯微鏡等。
新能源與顯示技術(shù):OLED蒸鍍設備、鋰電薄膜設備等。