| 型號*1 | SDX600型 | SDT600 系列 | SDX1200 | SDT1200 | SDX1800 | SDT1800 | SDH3000*5 | SDH6000*5 | |
| *大抽速 [L/min]*2 *6 | 10,000 | 18,000 | 19,000 | 30,000 | 50,000 | 100,000 | |||
| 極限壓力 [Pa] *2 | 0.5 | 0.3 | 0.5 | ||||||
| 電源電壓 （50/60Hz） | 三相 AC200~220V*7 | ||||||||
| N2流速 [SLM] | 0~80 | 0~120 | |||||||
| 冷卻水流量 [L/min] | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 3.0 | 4.0 | 4.0 | 4.0 | |
| 功耗[kW]*3 | 1.5 | 3.0 | 1.65 | 3.15 | 2.1 | 3.3 | 3.3 | 3.7 | |
| 外形尺寸 [mm]*4 | L | 695 | 695 | 850 | 910 | 1050 | |||
| W | 285 | 285 | 380 | 420 | 515 | ||||
| H | 850 | 850 | 950 | 900 | 950 | ||||
*1） SDX 節(jié)能型、Hirsch 工藝對應(yīng)機(jī)床、SDT/SDH 工藝耐性、Super Hirsch 對應(yīng) *2） 無加熱器規(guī)格，不使用 N2 吹掃
*3） 達(dá)到運行時的近似功耗。 *4） 包裝尺寸。 有關(guān)詳細(xì)尺寸，請索取外部圖紙。
*5） 我們擁有具有*耐加工性的產(chǎn)品陣容，請聯(lián)系我們的銷售代表。 *6） *大抽速為近似值。
*7） 對于本電源以外的要求，請單獨與我們聯(lián)系。 * 請聯(lián)系我們了解兼容的氣體類型。
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