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ULVAC愛發(fā)科 螺桿式干式真空泵LS120A-C

發(fā)布時間:2025/04/27 17:52:11 發(fā)布廠商:深圳市京都玉崎電子有限公司 >> 進入該公司展臺

特征

  • 通過對轉子軸和氣缸等主要部件進行特殊的表面處理,實現了高耐腐蝕性。
  • 螺旋式轉子軸采用的 ULVAC 設計,可提供高粉末排放性能。
  • 從大氣壓到極限壓力的整個壓力范圍內均可連續(xù)運行。

應用

  • 真空排氣系統(tǒng)
    蝕刻設備、灰化設備、電子零件等離子清洗設備、半導體制造設備等。
  • 真空熱處理爐、
    燒結爐、滲碳爐等真空排氣系統(tǒng)。
  • 鋰電池制造設備真空排氣系統(tǒng)
    、電極干燥設備、脫氣設備、注液設備等。
  • 醫(yī)療及食品相關設備、
    冷凍干燥設備、真空干燥設備等的真空排氣系統(tǒng)。

*MS1200A 可配備附加控制板和傳感器。請聯系我們。

規(guī)格

模型 MS120A MS600A MS1200A
*抽速*1 立方米/小時 115 560 980
極限壓力 爸爸 ≦0.6 ≦0.1
電源電壓 三相,50/60Hz,AC200-240V±10%或三相,50/60Hz,AC380-480V±10%
大約功耗*2 千瓦 2.4 3.1 3.1
冷卻水量 升/分鐘 >4.0
吹掃氣體量*1 空間光調制器 0~50
*水蒸氣處理量
*1*3
公斤/小時 1.5
噪音等級*2 分貝(A) 61 62 64
進氣口 KF50(臥式) / VG50(立式) ISO-F-80 ISO-F-100
排氣口 KF40
質量*4 公斤 139 241 264
合規(guī)標準 CE、cTUVus
標準配件 快速手冊、電源連接器、防水線夾、信號連接器、電源連接器保護罩、消音器套裝
主機選項 電源電壓:200V或400V級
密封材料:氟橡膠(FKM)或全氟彈性體(FFKM)
外部選項 外殼排氣口、抗震固定支架、LR兼容單元(進氣口、信號)、吹掃氣閥

*1:代表值
*2:極限壓力
*3:使用吹掃氣體時的*水蒸氣處理能力。
*4: 含消音器


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