可以低成本引進并運行的濕式廢氣處理裝置。采用荏原獨有的無需燃料，且在燃燒式廢氣處理裝置方面積累10年以上的副產(chǎn)品對策，實現(xiàn)了較長的維護周期。有助于穩(wěn)定運轉(zhuǎn)，幫助削減維護費用及人力時間。
并且，維護空間**于裝置正面。即使在有限的廠房空間中，也能夠?qū)崿F(xiàn)高靈活性的布局。
處理對象氣體：NH3、DCS、TiCl4、WF6、HF、HCl等可在常溫下處理的水溶性氣體
濕式廢氣處理裝置
一次性處理多種氣體
副產(chǎn)品對策
維護間隔長
運行成本低
初期投資成本低
可支持CE標(biāo)志/SEMI-S2/NRTL
| 型號 | 單位 | G-WS1000 | |
| *處理風(fēng)量 | L/min | 1,000 | |
| 連接流入口數(shù) | 4 | ||
| 外形尺寸 | mm | W914×D736×H1,727 | |
| 容量 | 水量 | L/min | 1 - 10 |
| 排水量 | L/min | 1 - 10 | |
| 氮 | L/min | 15-50 | |
| 電源 | 1.8-3.5kW、3相AC 200V（50/60Hz） | ||
| 排氣管道（已處理氣體） | m3/min | 1.5 | |
| 排氣管道 （框體排氣） | m3/min | 1.3 | |
| 主要的可處理氣體 | Epi | HCl、DCS | |
| CVD | WF6、 NH3、 TiCl4、 BCl3、 ClF3、 SiF4、 Cl2*、 F2* | ||
| Etching | BCl3、 HCl、 HF、 HBr、 SiF4、 Br2*、 Cl2*、 F2* | ||
| Asher | NH3 | ||
| 無法進行濕式處理的氣體 | H2、 SiH4、 PH3、 GeH4、 CH4、 PFCs （CF4、 SF6、 NF3） etc. |
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